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演講摘要：

高頻熱等離子體具有能量密度大、溫度高、冷卻速率快、無電極污染、反應體系可控等優點，在制備高純粉體和球形粉體方面具有明顯的優勢和潛力。本報告首先概括介紹了感應等離子體在制備特種粉體方面的研究進展，然后圍繞球形氧化硅粉體，詳細介紹了感應熱等離子體在氧化硅粉體球形化、納米球形氧化硅制備和無羥基高純石英澆鑄等方面的研究，感應熱等離子體不僅能夠通過熔融球化制備出球形氧化硅粉體，還可以采用硅粉/四氯化硅氧化制備出納米球形氧化硅，而且，感應熱等離子體為不含羥基氧化硅制備提供有利的保證，感應熱等離子體為高品質氧化硅粉體的發展提供了新的技術途徑。