邵沖云,男,中國科學院上海光學精密機械研究所副研究員,主要從事稀土摻雜石英玻璃的結構缺陷研究。以第一/通訊作者發表SCI論文20余篇。獲得授權專利5項。參與2本專著編寫。擔任多個期刊審稿人。主持先導B課題、XX國防課題、國自然、北斗專項子課題、上海市面上等科研項目。參與國家重點研發計劃、國自然、xx重大國防項目等科研項目。榮獲2020年上海市超級博士后、2020年上海市揚帆計劃、2022年上海市技術發明獎一等獎、2023年尚光青年人才等殊榮。
演講摘要:
熔石英玻璃具有深紫外透過率高、本征應力雙折射低、抗激光損傷閾值高等性能優勢,是DUV光刻機照明系統、物鏡系統及光掩膜版中不可或缺的光學材料。本報告將簡要介紹DUV光刻機對熔石英玻璃的性能要求,重點介紹熔石英玻璃在DUV光刻機應用過程中面臨的挑戰及其解決方案,以及深紫外激光輻照下熔石英玻璃的光學性能退化機理。